第1021章 技术英雄（2 / 2）

直到2001年，林本兼离开了IBM并加入了台积电，已经完善了 “浸润式光刻机”理论的他接连发表了三篇重量级的学术论文，在论文中他指出：既然157nm难以突破，为什么不退回到技术成熟的193nm，把透镜和硅片之间的介质从空气换成水，由于水的折射率大约为1.4，那么波长可缩短为193/1.4=132nm，大大超过攻而不克的157nm。

而且这个被称做“浸入式光刻技术”的方案还有其他明显优势，第一，由于是利用现有成熟技术改造，资金投入小，可以给半导体设备制造商节省研发投入，并减小芯片制造商的导入成本；第二，如果把介质从水换成其它高折射率液体，波长还可以进一步缩小到132nm以下，也就是说提高光刻机的分辨率非常方便。

他开始游说米国、汉斯、倭国的光刻机制造厂们，企图说服大厂们采用“浸入式光刻”方案，但，依然都被拒绝。

因为这些大厂都为了157nm光源投入了巨量的资金，如果现在放弃，从头研发“浸润式方案”，就意味着前期的巨量投入都打了水漂，是个人想想都会心疼，而且没法向董事会交代——好吧这些企业后来都悔青了肠子。

最后，林本兼找到了彼得﹒韦尼克，这个在当时最不起眼的在众多大厂的夹缝中勉强生存的光刻机生产厂ASML的CEO，两个落魄的天才终于擦出了火花。

彼得.韦尼克在拿到了这个方案的时候，立刻就下定了破罐子破摔……搏一把的决心，押上全部身家，与台积电联合研制这台光刻机。

三年之后的2004年，全球第一台浸润式微影机研发成功。

“浸入式光刻机”一出，基本上宣判了半导体界正在开发的各种“干式”微影技术方案的死刑，因为循着这条技术路径，半导体芯片生产商可以以一个不算高昂的成本将芯片制程从65纳米逐步提升至10纳米以内！

而对于任何一家半导体芯片制造企业来说，制程，都是第一重要的关键因素，是企业的生命线！

制程为什么重要？

答案很简单——因为钱！

在解释清楚这个问题之前，我们首先需要树立一个基本概念——对于芯片制造企业来说，芯片的制造成本与芯片内部的复杂程度无关，而只与芯片的面积有关，换句话说，同样面积的芯片，不管里面包含多少只晶体管、电路多么的复杂，其制造成本几乎是一样的。

这就好比，对一家承接复印业务的誊印社来说，它不会管你复印的那张纸上究竟有多少个字，它只按页数收钱。

明确了这个概念之后，理解下面这个例子就容易了：一块12英寸 304.8mm 直径的晶圆，假设用16nm 工艺可以做出 100 块芯片的话，那么用10nm工艺就可以做出 210 块芯片，于是价格就便宜了一半，在市场上就能死死摁住竞争对手在地上摩擦，赚了钱的同时又可以做更多研发，差距就这么拉开了。

所以，阿斯麦尔的“浸入式光刻机”顿时就成了抢手货，需要排队才能买到，从2004年开始，它只用了短短5年时间，到2009年，其市场占有率就从几乎可以忽略不计一路飙升到了70%，而原先曾经占据50%市场份额的行业老大尼康，其市场占有率顿时就从顶点一路断崖式下坠到了个位数。

尝到了甜头的阿斯麦尔于是又在“极紫外线光刻机EUV”上倾力一搏并再次成功，从此登顶全球光刻机王座，特别是在“极紫外线光刻机EUV”上，取得了惊人的100%市场占有率，绝对垄断！

绝对垄断的生意做起来自然很爽，这台“极紫外线光刻机EUV”的售价高达1.2亿美金，且需全款订货，排队至少一年！

彼时的国际半导体行业流传着一句无奈的调侃：“ASML一打喷嚏，全世界的半导体企业都感冒。”

当然，ASML能登顶成功，也不全是因为技术领先，还有很多的因素在其中发挥了作用——不过那是另一个故事了，咱们今后有机会再说——好吧估计可能没机会了，因为在本时空的米国纽约州阿蒙克市，正在发生如下这场对话：

“林本兼博士，你好，我是“矩阵”实验室的创始人埃里克·谭，很高兴您能同意与我见面，我对您提出的“浸入式光刻”的理论非常感兴趣，我个人认为，这将会是一个改变半导体制程行业的伟大发明，不如，我们深入地探讨一下？”